mems惯导结构设计-惯导模块

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1. 你知道什么是惯性导航系统吗?
2. 什么是MEMS?
3. 机油压力传感器MEMS详细介绍
4. 芯片和mems有什么区别?如何应用?

1、你知道什么是惯性导航系统吗?

惯性导航系统是一种利用安装在运载体上的陀螺仪和加速度计来测定运载体位置的一个系统。通过陀螺仪和加速度计的测量数据，可以确定运载体在惯性参考坐标系中的运动，同时也能够计算出运载体在惯性参考坐标系中的位置。

惯性导航系统是一种利用安装在运载体上的陀螺仪和加速度计来测定运载体位置的一个系统。通过陀螺仪和加速度计的测量数据，可以确定运载体在惯性参考坐标系中的运动，同时也能够计算出运载体在惯性参考坐标系中的位置。

定义：惯性导航系统是以陀螺和加速度计为敏感器件的导航参数解算系统，该系统根据陀螺的输出建立导航坐标系，根据加速度计输出解算出运载体在导航坐标系中的速度和位置。

惯性导航系统（Inertial Navigation System，INS）是一种不依赖于外部信息源的自主导航系统，通过测量载体的加速度和角速度信息，经过一系列运算处理后，确定载体在空间中的位置和姿态。

惯性导航系统（INS）是一种利用惯性传感器测量载体的角速度信息，并结合给定的初始条件实时推算速度、位置、姿态等参数的自主式导航系统。具体来说，惯性导航系统属于一种推算导航方式。

2、什么是MEMS?

MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。

微机电系统（MEMS）指一种基于微处理系统的微机械设备和机电一体化系统。

MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。

你好，mems是Micro-Electro-Mechanical System的英文缩写，它的意思是微机电系统，指的是尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。

3、机油压力传感器MEMS详细介绍

机油压力传感器MEMS（MicroElectromechanicalSystem，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

机油压力传感器损坏，最明显的反映就是机油报警灯会常亮，如果在压力过大或者缺机油时继续行驶，会对发动机造成很大影响，甚至直接报废都有可能。

MEMS（Micro Electro Mechanical System），即油压传感器，是指集微传感器、执行器、信号处理与控制电路、接口电路、通信与电源于一体的微机电系统。机油压力传感器安装在发动机的主油道上。

你好， 机油传感器可以检测机油压力，在压力不够的情况下发出报警信号。机油压力不够的时候仪表盘上的机油灯会亮。机油压力不够报警的故障一般为机油感应塞失灵、机油不够、机油泵滤网堵塞、机油泵损坏。

4、芯片和mems有什么区别?如何应用?

MEMS加工除了使用大量传统的IC工艺，还需要一些特殊工艺，如双面刻蚀，双面光刻等。MEMS比较传统IC，工艺简单，光刻步骤少，MEMS生产的一些非标准的特殊工艺，工艺参数需要按照产品的要求来进行调整。

MEMS是微机械（微米/纳米级）与IC集成的微系统，即具有智能的微系统，MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说，MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。

mems工艺和半导体工艺的区别：MEMS加工技术工艺是根据产品需要，在各类衬底（硅衬底，玻璃衬底，石英衬底，蓝宝石衬底等等）制作微米级微型结构的加工工艺。

MEMS压力芯片相当于人的皮肤，可以感知压力；MEMS化学传感器相当于人的鼻腔，可以感知味道和温湿度。没有感知器官的人。MEMS被认为是21世纪最有前途的技术之一，如果半导体微制造被视为第一次微制造革命，MEMS则是第二次革命。

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